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Therefore, more and more semiconductor factories apply advanced control policies for AMHS systems.
因此，越来越多的半导体制造厂更加重视AMHS系统的控制策略。
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This research starts with the review of historic evolution of AMHS, then focused on more details of the AMHS structure and control method between all subsystems of AMHS.
本文从AMHS系统的历史演变过程开始，详细的分析了AMHS系统地构成结构和各子系统间的控制方式的特点。
1. FabEX是一种优化的、“无需等待”的自动物料传送系统，拥有其专利技术，传送晶圆盒的速度非常快（>3米/秒），因而，能缩短生产周期，提高设备的利用率和增加生产产能。与采用传统运输装置或者悬吊式搬运车辆的AMHS相比，FabEX速度更快，它能够曲线移动或者爬坡，摆动小，有效控制了颗粒物的产生。由于FabEX不需要任何搬运车辆，所以它能提供很高的产能。以上特性都基于IP 技术控制和软件，它能与晶圆厂实现无缝整合。FabEX非常的简洁，更少的移动部件使其具备更高的传送稳定性和更低的拥有成本。